HW-CS108-F/112-F
設(shè)備規(guī)格：8inch/12inch
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1.外觀簡(jiǎn)潔大方,整機(jī)采用PLC控制，易于操作，性能穩(wěn)定；
2.功能：通過(guò)噴灑出微小且高壓力的純凈水將切割后的晶圓清洗干凈。
3.通過(guò)更換臺(tái)盤能適應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)6”，8”，12”框架（Frame）；
4.噴頭噴灑范圍可自動(dòng)根據(jù)設(shè)定的晶圓大小調(diào)節(jié)，無(wú)需人工干預(yù)；
5.可以根據(jù)客戶工藝不同，來(lái)編制不同程序控制。
6.具有“緊急停止”功能；
7.具有系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控和設(shè)備故障報(bào)警功能；
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